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技術(shù)詳情

薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)

這種應(yīng)變計(jì)是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍(lán)寶石上制成的(圖1)。它通過(guò)改變真空沉積時(shí)襯底的溫度來(lái)控制沉積層電阻率的高低,從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補(bǔ)償薄膜應(yīng)變計(jì)。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)吸收了金屬應(yīng)變計(jì)和半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)的優(yōu)點(diǎn),并避免了它的缺點(diǎn),是一種較理想的應(yīng)變計(jì)。